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日本filmetrics對(duì)準(zhǔn)自動(dòng)膜厚測(cè)量系統(tǒng)F60 F60自動(dòng)測(cè)繪膜厚測(cè)量系統(tǒng)是F50的高duan機(jī)型，具有缺口檢測(cè)、自動(dòng)基線功能和互鎖機(jī)制。 只需將樣品放在載物臺(tái)上，然后單擊測(cè)量按鈕即可自動(dòng)執(zhí)行對(duì)齊、基線和膜厚映射。

日本filmetrics自動(dòng)膜厚測(cè)量系統(tǒng)F50 F50自動(dòng)測(cè)繪膜厚測(cè)量系統(tǒng)是將基于光學(xué)干涉原理的膜厚測(cè)量功能與自動(dòng)高速載物臺(tái)相結(jié)合的系統(tǒng)。 以過去無(wú)法想象的速度測(cè)量點(diǎn)的膜厚和折射率。它支持從2英寸到450毫米的硅基板，并且可以任何測(cè)量點(diǎn)。

日本filmetrics臺(tái)式膜厚測(cè)量系統(tǒng)F3-CS F3-CS是測(cè)量小樣品的最佳測(cè)量系統(tǒng)。與測(cè)量臺(tái)集成的測(cè)量系統(tǒng)使其易于攜帶。 只需將樣品的測(cè)量面朝下放置在載物臺(tái)上即可進(jìn)行測(cè)量，約1秒即可測(cè)量出膜厚和折射率。

日本filmetrics板厚測(cè)量系統(tǒng)F3-sX 可以高精度測(cè)量硅基板和玻璃基板的厚度。 通過安裝最初開發(fā)的具有高波長(zhǎng)分辨率的光譜儀，可以測(cè)量高達(dá) 3 mm 的厚膜。

日本filmetrics反射/透射/薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)F10-RT F10-RT 是一款集成了測(cè)量單元和測(cè)量臺(tái)的緊湊型臺(tái)式測(cè)量系統(tǒng)?？赏瑫r(shí)測(cè)量反射率和透射率，并可輕松分析膜厚、折射率和消光系數(shù)。 只需一根 USB 線和電源線即可輕松連接，無(wú)需調(diào)整光學(xué)系統(tǒng)，無(wú)需復(fù)雜的設(shè)置，而且設(shè)置非常簡(jiǎn)單。